半導(dǎo)體凈化車間是半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的工序,它包括光擴(kuò)散等工藝環(huán)節(jié)。

半導(dǎo)體制造中,潔凈室主要指光擴(kuò)外延等生產(chǎn)區(qū)，半導(dǎo)體凈化車間的定義 半導(dǎo)體潔凈室的等級(jí)一般分為四級(jí)。

凈化車間級(jí)別

光學(xué)級(jí)(Class) 100級(jí)(100μm≤p≤10μm)

粒子流級(jí)(10μm≤p≤100μm)

微塵粒度(1微米以下)1200級(jí)(1100μm≤p≤11000 μm)1

微米以上微粒 2500—3000 級(jí)(21000—31000 μ m ≤ p 30000—35000 μ m ) 35000—41000 級(jí)(410000—45000 μ m ≤ p 50000 μ m 以下) 42000級(jí)以上

超凈間(ULTRAZONE Rooms),也稱為無(wú)菌室或生物安全柜,其空間要求比千級(jí)潔凈室更高。

在超凈間內(nèi)工作的人員必須穿特殊的隔離服并帶面罩和手套才能進(jìn)入室內(nèi)操作。

超凈間的空氣通過(guò)高效過(guò)濾器后由風(fēng)機(jī)壓入并通過(guò)裝有高效過(guò)濾器和紫外燈管組合的送風(fēng)口送到室內(nèi).再經(jīng)過(guò)初效過(guò)濾器濾除大顆?；覊m.最后通過(guò)UPS循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)排出到室外.整個(gè)空氣凈化過(guò)程都在密閉的空間內(nèi)進(jìn)行.因此超凈間的空氣中幾乎不存在微生物及粉塵微粒之類的污染物.由于沒(méi)有氣流死角且風(fēng)速很高,因而可最大限度地減少工作人員在呼吸時(shí)引入塵埃而引起的疾病。

半導(dǎo)體凈化車間的特點(diǎn)

(1)高潔凈度:半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵工序——光擴(kuò)散等工藝均需在高潔凈度的環(huán)境中進(jìn)行;

(2)高安全性:無(wú)塵環(huán)境使產(chǎn)品得到有效保護(hù);

(3)良好的工作環(huán)境:清潔舒適的工作環(huán)境使人心情愉悅 ;

(4)節(jié)約能源與資源 :無(wú)塵車間對(duì)空調(diào)能耗的要求低;

(5)降低生產(chǎn)成本:提高工作效率;

(6)改善勞動(dòng)條件:改善了工人勞動(dòng)條件和作業(yè)環(huán)境 ;

(7)提高產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性:提高了產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定性。