電子光學(xué)，簡稱光電，英文名稱為?electron optics?，是研究電子在電磁場中運動和電子束在電磁場中聚焦、成像、偏轉(zhuǎn)等規(guī)律的學(xué)科。目前我們比較常見的半導(dǎo)體、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造、芯片制造都是電子光學(xué)的市場化運用。

以我們熟悉的芯片制造為例，因為技術(shù)不斷創(chuàng)新，以及產(chǎn)品迭代，對芯片的生產(chǎn)工藝的高精密度的要求也越來越高。因此，對光學(xué)微電子的生產(chǎn)環(huán)境，即光學(xué)電子無塵車間的要求也隨之提升了。

電子光學(xué)無塵車間方案

在方案設(shè)計中，切不可一概而論，應(yīng)加強對光學(xué)微電子行業(yè)無塵車間的特點做具體分析。根據(jù)具體生產(chǎn)產(chǎn)品，是新建還是舊廠房改造升級、結(jié)合具體生產(chǎn)工藝等，具體確定特定生產(chǎn)環(huán)境下所需要的溫濕度、潔凈度，考慮當(dāng)?shù)氐臍夂驐l件，綜合考慮建造成本，設(shè)計一個滿足使用需求、工程造價合理、節(jié)能環(huán)保的使用方案。

電子光學(xué)無塵車間凈化流程

氣流——初效凈化——中央空調(diào)——中效凈化——風(fēng)機送風(fēng)——管道——高效凈化風(fēng)口——吹入房間——帶走塵埃細(xì)菌——回風(fēng)百葉窗——初效凈化。重復(fù)上面流程，即可達(dá)到凈化目的。其實各行業(yè)的無塵車間在凈化流程上大同小異，電子光學(xué)無塵車間也類似，只是在具體實施中需要細(xì)分處理。

電子光學(xué)無塵車間考慮重點

電子光學(xué)工廠普遍使用集成電路，大部分晶體管不耐受高壓，容易被擊穿。再者，電子光學(xué)工廠的器件具有體積小，密集度高等特點，靜電不僅會導(dǎo)致破損報廢，還會吸附灰塵，導(dǎo)致出現(xiàn)次品，靜電會生產(chǎn)熱，讓元件受損，靜電電磁場幅度很大，很容易造成電磁干擾，靜電吸灰，絕緣電阻受損，縮短使用時間。電子光學(xué)無塵車間設(shè)計時，對防靜電要求一定要做好提前預(yù)判，一般濕度設(shè)置在45%—65%，在這個范圍內(nèi)，根據(jù)具體環(huán)境要求，略微提高，以免產(chǎn)生靜電。

電子光學(xué)無塵車間凈化參數(shù)

換氣次數(shù)：十萬級≥15次，萬級≥20次，千級≥30次；

壓差：主車間對相鄰房間≥5帕；

平均風(fēng)速：0.3—0.5米每秒；

溫度：冬季＞16℃，夏季＜26℃，波動范圍±2℃；

噪聲：≤65db(A)；照度：300LX

新風(fēng)：新風(fēng)補充量以總風(fēng)量的10%—30%為宜，新風(fēng)補充還應(yīng)以車間內(nèi)的工作人數(shù)來計算，可以根據(jù)以下數(shù)值取最大值：非單向流無塵車間總送風(fēng)量的10%—30%，補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量，保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m/h。此外，為了保持無塵車間內(nèi)的潔凈度及濕度平衡，需要較大的送風(fēng)量，以1000㎡為例，吊頂?shù)母叨葹?.5米，如果是萬級，送風(fēng)量就需要1000×2.5×30=75000m/h的送風(fēng)量，換氣次數(shù)為≥25次/h；如果是十萬級，送風(fēng)量就需要1000×2.5×20=50000m/h的送風(fēng)量，換氣次數(shù)為≥15次/h。

常用設(shè)備方案

A?組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口，

B?水冷柜機+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口，

C?分體空調(diào)柜機+FFU送風(fēng)口。

總體來說這三套組合方式各有優(yōu)缺點，需根據(jù)成本造價、使用年限、溫濕度管控、潔凈度等要求合理選擇組合方式。

電子光學(xué)行業(yè)發(fā)展日新月異，對電子光學(xué)無塵車間建造的技術(shù)要求也會隨著生產(chǎn)方式的變化進(jìn)行不斷改進(jìn)和變化。無塵車間的目的，在于為電子光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)提供一個穩(wěn)定可靠的環(huán)境，是我們從業(yè)人士需要堅持研究的方向。