無塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室極高的硅晶片制造鏈中，必須是一個無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn)。

我國的無塵室發(fā)展起步與國外相比較晚，近二十年來，隨著越來越多外企在國內(nèi)開辦或合資開辦企業(yè)，一些高新技術(shù)對生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競爭力，各個行業(yè)也開始追求無塵室的質(zhì)量。

正確、合理的設(shè)計是保證無塵室穩(wěn)定運行的前提，在實際使用中，不正確的維護操作和不規(guī)范的管理都會使無塵室的空氣潔凈度降低，造成無塵室指標(biāo)達不到要求。因此，正確科學(xué)地進行無塵室維護和管理非常重要，并且這要從各方面來完善。

物品管理

工作人員會帶入塵埃，那么所有的物料及設(shè)備也會影響無塵室的清潔。在物流和設(shè)備進入時，要做到不將任何微?；蛭⑸飵胧覂?nèi)。工作人員要在無塵室內(nèi)穿著潔凈衣服，用無塵紙擦拭物料和設(shè)備。搬運時也要為地板鋪上已經(jīng)清潔過的不銹鋼板，防止破壞地板。

人員控制

經(jīng)測試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當(dāng)工作人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動作，且企業(yè)也要對工作人員進行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。

系統(tǒng)構(gòu)建和維護

除了防止微塵進入，無塵室也要設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備等各類設(shè)備設(shè)施，來確保無塵室內(nèi)的空氣潔凈度級別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運行中，維護也是必不可少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風(fēng)機軸承的運行是否處于正常狀態(tài)等。每一項都影響了系統(tǒng)的運行，因此不可遺漏。

定期檢查

對于無塵室中的各種設(shè)備，在無塵進入室內(nèi)后，也要時常清潔滅菌，并且定期進行檢查，防止無塵室內(nèi)塵粒和微生物的產(chǎn)生、繁衍和滯留。

如今的無塵室，為滿足各類產(chǎn)業(yè)的需求，大多會選擇“量身定制”。要盡可能地建造一套完善的系統(tǒng)，防止后續(xù)出現(xiàn)問題影響無塵室的使用，且會浪費時間和金錢。很多對這方面缺乏重要性認識的企業(yè)，最后都后悔不已，然而為時已晚。